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檢具失效的基本形式：磨損失效，斷裂失效，塑性變形失效

1） 磨損

檢具作為一種檢測設備，在零件不發生位移的情況下，檢具上的功能件需要相應的姿態移動和調整或在其他工具的配合下，才能到達產品的檢測區域，進行有效的質量判定。尤其是Cubing 檢具，開口檢具，功能性主模型，可拆卸模塊較多，每一次的裝拆和搬運都會對檢具的穩定性產生少許的影響。

檢具在使用時，活動件之間相互運動，手持件與產品接觸等都會導致零件的磨損，檢具使用時間越長，則磨損量也越大，磨損也就越嚴重。

磨損的形式由有腐蝕磨損，粘著磨損。判斷檢具是否磨損而失效的主要標準是三坐標測量，當測量報告顯示檢具尺寸超出允許的公差范圍時即宣告檢具失效。檢具上發生磨損頻率高，對精度影響大的部分是定位銷，檢測銷，劃線銷，翻轉和平移裝置，可拆卸模塊，滑動導軌，燕尾槽等等，這些部分需要經常檢查，是日常維護保養的重點區域。

2） 塑性變形

當檢具零件承受的載荷使零件內部的應力超過其自身材料的屈服強度時，零件就會產生塑性變形，常見的塑性變形失效有工作零件出現表面皺紋，局部塌陷和棱角倒塌等。檢具產生塑性變形的危害非常嚴重，輕微的塑性變形不易察覺，如果在運輸，移動，受到外力的作用下，檢具的塑性變形會放大，嚴重的時候整個定位系統會處于失衡的狀態，最終導致檢具失效。一般塑性變形會出現在支撐零件上，如底板，支架，支撐板等承重型基礎件，如果承重零件設計的比較薄弱，檢具的穩定性差，直接影響重復性在線性的評測。

3） 斷裂

檢具在正常工作時，因為某種原因而突然出現較大裂紋，甚至分裂成幾個部分，使檢具整體或部分區域立即喪失工作能力的失效形式為斷裂失效，常見的斷裂失效有開裂，破裂，崩刃，折斷等。很多情況下，檢具斷裂的部分受到過外力的沖擊，短時間內零件無法轉換，從而導致斷裂。零件受力的方向一般有兩種，一種是徑向受力，一種是橫向受力。橫向力目前是導致檢具零件斷裂的主要原因，所以，使用檢具時，要盡量避免在應力集中的區域的施力。